EV GroupTechnologiesResist Processing Technology

Resist Processing

在半导体制造中,抗蚀剂加工技术和制版工艺是最重复的步骤.

Introduction

抗蚀剂加工技术被广泛应用于众多的微、纳米技术应用和面向不同市场的产品, such as advanced packaging, MEMS, MOEMS and sensors, microfluidics, RF devices, photonics and many more. 这些应用领域给半导体器件的设计和制造带来了新的挑战. 理解这些特殊需求,并具有相应的灵活性来调整亚美体育在线网页的系统,是EVG带给市场的独特核心竞争力之一.

亚美体育在光刻技术方面的重要进展包括专有的抗蚀剂涂层技术, such as OmniSpray, revolutionary NanoSpray and NanoFill. 这些独特的技术被应用于EVG100系列抗蚀剂加工系统中,并为光刻胶涂层和开发建立了质量和灵活性方面的新标准. 旨在支持广泛的工艺参数和客户的要求, 广泛的材料-如正极和负极电阻, polyimides, 薄抗蚀层的双面涂层, high-viscosity resists, 和边缘保护涂层-可在EVG100系列上加工. 然而,抗蚀剂加工对某些工艺流程的重要性经常被低估,仅仅被认为是标准光刻工艺的一种商品, 在许多情况下,这是关键的启用过程. For example, patterning on high-topography wafers, LIGA (lithography, electroforming, and molding), temporary bonding, 纳米压印(NIL)和胶粘剂粘接都依赖于先进的涂层能力和卓越的工艺. EVG在苛刻的应用中积累了多年的旋转和喷涂经验,并将这些经验融入到EVG100系列中, 如何利用亚美体育在线网页的流程知识来支持亚美体育在线网页的客户. 与所有EVG处理系统一样,设备可以配置为R&D环境或大批量生产.

Features

  • Wafer sizes supported up to 300 mm
  • Coating of up to 52,000 cP可用于制造高达300µm的超厚抗蚀剂,支持材料范围广泛
  • Available modules
    • 基于模拟的低湍流度设计的旋转涂层模块
    • OmniSpray® 用于高形貌表面的优化涂层
    • NanoSpray™/NanoFill™涂层/填充和保护via结构
    • Develop
    • Bake
    • Chill
    • Vapor
  • CoverSpin™旋转盖低抗蚀剂消耗和优化抗蚀剂涂层均匀性
  • EV Group's proprietary OmniSpray® 超声雾化技术在极端地形上提供了无与伦比的保角涂层工艺结果
  • 可选的NanoSpray™模块实现300µm深图案的保形涂层,纵横比高达1:10和垂直侧壁
  • 利用经过验证的模块化设计,轻松地将工艺从研究转移到生产
  • 易碎,薄或翘曲的晶圆处理多种晶圆尺寸
  • 智能过程控制和数据分析软件功能
    • 集成分析功能的过程和机器控制
    • 并行任务/排队任务处理功能
    • 设备和工艺性能跟踪功能
    • Smart handling features
    • Occurrences and alarms analysis
    • 智能维修管理和跟踪
    • 多用户概念(无限数量的用户帐户和食谱, assignable access rights, different user interface languages)

Figures

High-Q-3D solenoid inductors for RF ICs.  金属结构采用喷涂技术. Courtesy of SIMIT
High-Q-3D solenoid inductors for RF ICs. 金属结构采用喷涂技术. Courtesy of SIMIT
Negative sidewall with a metal-compatible lift-off resist coating; metal pad in the middle of the structure
Negative sidewall with a metal-compatible lift-off resist coating; metal pad in the middle of the structure
SEM cross section of spray coated cavity
SEM cross section of spray coated cavity

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