Nanoimprint光刻(零)

EVG是纳米压印设备和集成工艺的市场领先供应商. 早在15年前,EVG就从一种研究方法中开创并掌握了NIL, 实现各种基片尺寸的批量生产,从2英寸化合物半导体晶圆到300毫米晶圆,甚至在大面积面板上. NIL是最具前景和成本效益的过程,用于生成纳米尺度的分辨率模式,用于生物医学ems的各种商业应用, 微流体, 电子产品和, 最近, 各种衍射光学元件.

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大力神零
UV-NIL / SmartNIL® 系统

亚美体育为uv基纳米压印(UV-NIL)提供完整的产品线, 包括不同的单步印模系统, 大面积的压印机,以及步骤和重复系统,有效的主控制造.

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热压花系统

亚美体育的系列高精度热压系统是基于该公司市场领先的晶圆键合技术. 热压印是一种具有很高复制精度的成本效益和柔性制造技术.

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