计量系统

计量对控制至关重要, 优化并确保半导体生产工艺的最高成品率. 通过实现反馈循环, 过程控制和过程参数校正都是启用的, 允许遵从更严格的过程需求.
EVG的计量解决方案为光刻和所有类型的粘接应用进行了优化, 并使用无损测量方法. 客户可以选择在完全自动化的过程设备中集成计量技术, 或独立的计量系统服务于多个过程步骤.

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